Félvezető szűrők

Félvezető gázszűrők:

A kifogástalan gáztisztaság biztosítása a forgácsgyártásban

A félvezetőgyártás bonyolult világában, ahol a precizitás és a tisztaság a legfontosabb, a minőség

A felhasznált gázok kritikus szerepet játszanak a folyamat sikerének meghatározásában. Szennyeződések, még végtelenül kicsi szinten is,

tönkreteheti a mikrochipek kényes áramkörét, hibássá és használhatatlanná téve azokat. Megvédeni

ebben a kritikus folyamatban a félvezető gázszűrők hajthatatlan őrzőként állnak, és aprólékosan eltávolítják a szennyeződéseket

valamint a gyártósorokon átáramló gázok kifogástalan minőségének biztosítása.

A szinterezett fémszűrőknek számos kiváló tulajdonsága és előnye van

1. A legmodernebb tisztatéri környezetben készült

Ezek a szűrők a legmodernebb tisztatérben születnek, olyan környezetben, ahol a kifogástalan körülményeket aprólékosan fenntartják az esetleges szennyeződés minimalizálása érdekében. Szigorú gyártási folyamaton mennek keresztül, kezdve a precíziós hegesztéssel, tisztított levegő atmoszférájában. Egy ezt követő ionmentesített vízöblítés, majd egy nagynyomású, szűrt nitrogénöblítés, megszünteti a megmaradt részecskéket, és csökkenti a részecskék kiszivárgásának kockázatát.

2. Kivételes részecskeeltávolítási hatékonyság

Figyelemreméltó, 9 LRV szűrési hatékonysággal 0,003 μm-es részecskék esetén, a SEMI F38 és ISO 12500 vizsgálati módszerek által meghatározott szigorú szabványoknak megfelelően ezek a szűrők hatékonyan távolítják el a korrózió által kiváltott részecskéket és a mozgó alkatrészekből származó részecskéket, biztosítva a szűrő érintetlen tisztaságát. gázok.

3. Kiváló mechanikai szilárdság

Szigorúan tesztelték, hogy garantálják a kivételes rugalmasságot az igényes gyártási folyamatokban és a gyakran nagy gáznyomást alkalmazó környezetekben, ezek a szűrők megingathatatlan teljesítményt nyújtanak élettartamuk során.

4. A legmagasabb ipari szabványok túllépése

A félvezető-feldolgozás szigorú gázkezelési szűrési követelményeit felülmúlva ezek a szűrők szigorú tesztelésen esnek át, hogy garantálják, hogy megfelelnek a kritikus szűrési hatékonyságnak, precíz áramlásszabályozásnak és biztonsági szabványoknak, amelyeket a félvezetőgyártás gázellátó rendszerei megkövetelnek.

5. Megingathatatlan elkötelezettség a biztonság iránt

A gyúlékony, korrozív, mérgező és piroforos technológiai gázoknak való kitettség elleni védelem érdekében a szűrőházakat alapos szivárgásvizsgálatnak vetik alá, biztosítva, hogy figyelemre méltó, 1x10-9 atm sc/s-nál kisebb szivárgási sebességet érjenek el. Ez a rendíthetetlen biztonság iránti elkötelezettség biztosítja, hogy a veszélyes gázokat visszatartsák, és megakadályozzák, hogy kárt okozzanak.

6. Kompromisszumok nélküli tisztaság a forgácskészítés kiválóságáért

Kivételes szűrési képességeik, a biztonság iránti megingathatatlan elkötelezettségük és a legmagasabb ipari szabványok betartása révén ezek a gázszűrők kulcsszerepet játszanak a félvezetőgyártás bonyolult folyamatának megőrzésében. Ők a tisztaság őrei, biztosítva, hogy csak a legtisztább gázok áramoljanak át a gyártósorokon, megnyitva az utat a modern világunkat tápláló, nagy teljesítményű mikrochipek létrehozása előtt.

A félvezető szűrők típusai

A félvezető szűrőket számos alkalmazásban használják, többek között:

* Elektronikai gyártás:

A félvezető szűrőket a részecskék eltávolítására használják ultratiszta vízből, gázokból és a félvezetők gyártásához használt vegyi anyagokból.

* Kémiai mechanikai síkosítás (CMP):

Félvezető szűrőket használnak a részecskék eltávolítására a CMP iszapokból, amelyeket félvezető lapkák polírozására használnak.

* Orvosbiológiai:

A félvezető szűrők a részecskék eltávolítására szolgálnak az orvosi diagnosztikában és kezelésekben használt folyadékokból.

* Környezetvédelmi:

A félvezető szűrőket a részecskék levegőből és vízből történő eltávolítására használják.

A félvezető szűrőknek négy fő típusa van:

1. Membránszűrők:

A membránszűrők vékony, porózus filmből készülnek, amely lehetővé teszi a folyadékok áthaladását, miközben megfogja a részecskéket.

 

Membránszűrők félvezetőhöz

 

 

2. Mélységi szűrők:

A mélységi szűrők vastag, kanyargós anyagágyból készülnek, amely megfogja a szűrőn átáramló részecskéket.

 

Mélységszűrők félvezetőhöz

 

 

3. Adszorbens szűrők:

Az adszorbens szűrők olyan anyagból készülnek, amely vonzza és megtartja a részecskéket.

 

 Adszorbens szűrők félvezetőhöz

 

 

4. Szinterezett fém szűrők

A szinterezett fémszűrők olyan mélységi szűrők, amelyeket általában a félvezetőgyártásban használnak. Finom fémpor porózus szerkezetű szinterezésével készülnek. A szinterezett fémszűrők nagy tartósságukról, nagy szűrési hatékonyságukról, valamint magas hőmérsékletnek és nyomásnak ellenálló képességükről ismertek.

A szinterezett fémszűrők előnyei a félvezetőgyártáshoz:

* Nagy tartósság:

A szinterezett fémszűrők nagyon tartósak, és ellenállnak a kemény működési feltételeknek, beleértve a magas hőmérsékletet, nyomást és a korrozív vegyszereket.

 

* Magas szűrési hatékonyság:

A szinterezett fémszűrők akár 0,01 mikron méretű részecskéket is képesek eltávolítani, ami elengedhetetlen az érzékeny félvezető alkatrészek szennyeződéstől való védelméhez.

* Hosszú élettartam:

A szinterezett fémszűrők hosszú élettartamúak, könnyen tisztíthatók és újra felhasználhatók.

* Kémiai kompatibilitás:

A szinterezett fémszűrők sokféle vegyszerrel kompatibilisek, így különféle félvezető-gyártási folyamatokban használhatók.

A szinterezett fémszűrők alkalmazásai a félvezetőgyártásban:

* Gáztisztítás:

A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt gázok, például nitrogén, hidrogén és oxigén tisztítására használják.

* Kémiai szűrés:

A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt vegyszerek, például savak, bázisok és oldószerek szűrésére használják.

* Ultratiszta vízszűrés:

A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt ultratiszta víz szűrésére használják.

* CMP iszapszűrés:

Szinterezett fémszűrőket használnak a CMP iszapok szűrésére, amelyeket félvezető lapkák polírozására használnak.

A szinterezett fémszűrők a félvezető gyártási folyamat elengedhetetlen részét képezik, segítik a minőségi félvezető eszközök gyártását.

 

Az adott alkalmazásban használt félvezető szűrő típusa az eltávolítandó részecskék méretétől, a szűrt folyadék típusától és a kívánt szűrési szinttől függ.

Itt van egy táblázat, amely összefoglalja a félvezető szűrők különböző típusait:

Szűrő típusa	Leírás	Alkalmazások	Kép
Membránszűrők	Vékony, porózus filmből készült, amely lehetővé teszi a folyadékok áthaladását, miközben megfogja a részecskéket.	Elektronikai gyártás, CMP, orvosbiológiai, környezetvédelmi	Membránszűrők félvezetőhöz
Mélységi szűrők	Vastag, kanyargós anyagágyból készült, amely megfogja a részecskéket, miközben átfolynak a szűrőn.	CMP, orvosbiológiai, környezetvédelmi	Mélységszűrők félvezetőhöz
Adszorbens szűrők	Olyan anyagból készült, amely vonzza és megtartja a részecskéket.	Elektronikai gyártás, CMP, orvosbiológiai, környezetvédelmi	Adszorbens szűrők félvezetőhöz
Szinterezett fém szűrők	Finom fémpor porózus szerkezetű szinterezésével készült.	Gáztisztítás, kémiai szűrés, ultratiszta vízszűrés, CMP iszapszűrés	Új ablakban nyílik megwww.hengko.com Szinterezett fém szűrők félvezetőhöz

Alkalmazás

A szinterezett fém félvezető gázszűrőket széles körben használják a félvezetőipar számos alkalmazásában. Egyedülálló tulajdonságaik, mint például a nagy szűrési hatékonyság, a tartósság, valamint a magas hőmérsékletnek és nyomásnak ellenálló képességük, a félvezetőgyártás gázellátó rendszereinek alapvető elemévé teszik őket.

Íme néhány a szinterezett fém félvezető gázszűrők speciális alkalmazásai:

1. Ostyagyártás:

A szinterezett fémszűrőket az ostyagyártás során használt gázok, például nitrogén, hidrogén és oxigén tisztítására használják. Ezek a gázok nélkülözhetetlenek az olyan folyamatokhoz, mint az epitaxiális növekedés, a marás és a dopping.

2. Kémiai szűrés:

A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt vegyszerek, például savak, bázisok és oldószerek szűrésére használják. Ezeket a vegyszereket különféle célokra használják, beleértve a tisztítást, maratást és polírozást.

3. Ultratiszta vízszűrés:

A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt ultratiszta víz (UPW) szűrésére használják. Az UPW elengedhetetlen az ostyák tisztításához és öblítéséhez, valamint a vegyszerek előkészítéséhez.

4. CMP iszapszűrés:

Szinterezett fémszűrőket használnak a CMP iszapok szűrésére, amelyeket félvezető lapkák polírozására használnak. A CMP kritikus folyamat a mikrochipek gyártásában.

5. Felhasználási hely (POU) szűrés:

A szinterezett fémszűrőket gyakran POU-szűrőként használják, amelyeket közvetlenül a felhasználás helyére szerelnek fel, hogy a legmagasabb szűrést biztosítsák. A POU szűrők különösen fontosak az olyan alkalmazásokban, ahol a gáz tisztasága kritikus, például mikroprocesszorok és más nagy teljesítményű eszközök gyártása során.

6. Nagy tisztaságú gázkezelés:

A szinterezett fémszűrőket nagy tisztaságú gázkezelő rendszerekben használják a félvezetőgyártásban használt gázok szennyeződéseinek eltávolítására. Ezek a szennyeződések lehetnek részecskék, nedvesség és szerves vegyületek.

7. Mikroelektronikai gyártás:

A szinterezett fémszűrőket mikroelektronika, például számítógépek, táblagépek, mobiltelefonok, IoT-érzékelők és vezérlőeszközök gyártásában használják.

8. Mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS) szűrése:

A szinterezett fémszűrőket a MEMS szűrésben használják, ami a mikroelektromechanikai rendszerekből származó szennyeződések eltávolításának folyamata. A MEMS-eket számos alkalmazásban használják, beleértve az érzékelőket, működtetőket és jelátalakítókat.

9. Adattároló eszközök szűrése:

A szinterezett fémszűrőket az adattároló eszközök szűrésére használják, ami az adattároló eszközökről, például merevlemezekről és szilárdtestalapú meghajtókról való szennyeződések eltávolításának folyamata.

Ezeken a speciális alkalmazásokon túlmenően a szinterezett fém félvezető gázszűrőket számos más alkalmazásban is használják a félvezetőiparban. Sokoldalúságuk és megbízhatóságuk nélkülözhetetlen eszközzé teszik a félvezetőgyártók számára.

Kiváló minőségű szinterezett fém félvezető gázszűrőket keres?

A HENGKO az Ön partnere a félvezetőgyártási rendszerek OEM-megoldásaiban.

Precíziós tervezésű szűrőink biztosítják a folyamatok megbízhatóságát és hatékonyságát, így előnyt nyújtanak Önnek a versenypiacon.

Miért válassza a HENGKO szűrőit?

* Kiváló minőség és tartósság
* Testreszabott megoldások az Ön egyedi igényeihez
* Fokozott teljesítmény a félvezetőgyártáshoz

Ne hagyja, hogy a szűrési kihívások visszatartsák a termelést.

Forduljon hozzánk még ma, és fedezze fel, hogyan tudják szinterezett fémszűrőink forradalmasítani gyártási rendszerét.

Vegye fel velünk a kapcsolatot a címenka@hengko.com

Partner a HENGKO-val, és tegyen egy lépést a kiválóság felé a félvezetőgyártásban!