-
Nagy tisztaságú gázszűrés félvezetőipar számára – HENGKO HF sorozat
Leírás A nagynyomású gázszűrőt kifejezetten nagynyomású, nagy tisztaságú gázszállító rendszerekben és ultra-nagy tisztaságú gázszekrényekben való használatra tervezték...
Részletek megtekintése -
Ultratiszta gázszűrés elérése félvezetőgyártáshoz és a szennyeződésmentesítés biztosítása...
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Nagy tisztaságú ömlesztett és közműszűrők félvezető ipar számára
Leírás Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú folyamatgáz szűrésére tervezték. Precíziósan megtervezett...
Részletek megtekintése -
Félvezetőipari gázszűrési megoldás – HF sorozat, HENGKO
Leírás A nagynyomású gázszűrőt kifejezetten nagynyomású, nagy tisztaságú gázszállító rendszerekben és ultra-nagy tisztaságú gázszekrényekben való használatra tervezték...
Részletek megtekintése -
Tisztatéri kompatibilis beépített gázszűrők: Tartsa fenn a szennyeződésmentes levegő- és gázáramlást...
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Nagy tisztaságú szűrés az ultratiszta félvezető-gyártáshoz
Leírás Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú folyamatgáz szűrésére tervezték. Precíziósan megtervezett...
Részletek megtekintése -
Fejlett beépített gázszűrő olaj- és gázfinomítókhoz
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Tömeges és közüzemi szűrők a félvezetőgyártás nagy pontosságához
Leírás Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú folyamatgáz szűrésére tervezték. Precíziósan megtervezett...
Részletek megtekintése -
T-típusú beépített gázszűrő, amely elengedhetetlen a tiszta és megbízható félvezető-feldolgozáshoz
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Nagy tisztaságú gázszűrési megoldások a félvezetőipar számára
Leírás Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú folyamatgáz szűrésére tervezték. Precíziósan megtervezett...
Részletek megtekintése -
T-típusú inline gázszűrő félvezetőgyártási alkalmazásokhoz, ipari T-típusú...
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Maximális tisztaságú szűrők kritikus félvezető folyamatokhoz
Leírás Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú folyamatgáz szűrésére tervezték. Precíziósan megtervezett...
Részletek megtekintése -
T-típusú gázszűrő rendszer gázszekrényekben és gázszállító rendszerekben való használatra, nagy hatásfokú...
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Nagy tisztaságú és nagynyomású gázdiffúzorok páratlan szűréshez és precíz áramlásszabályozáshoz
Leírás A diffúzor szűrő egy élvonalbeli megoldás, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártásban használt vákuumkamrák gyors szellőztetésére terveztek...
Részletek megtekintése -
IGS Filters alacsony profilú, felületre szerelhető C tömítésű szűrőgáz-szállító rendszerek félvezetőkhöz
Leírás A HENGKO felületszerelt szűrőket úgy tervezték, hogy megfeleljenek a félvezető OEM szerszámokban használt integrált gázrendszerek igényes követelményeinek. Kínálnak...
Részletek megtekintése -
OEM ultramagas tisztaságú gázszűrők, egyedi rozsdamentes acél megoldások félvezető és ...
OEM ultramagas tisztaságú gázszűrők, egyedi rozsdamentes acél megoldások félvezető és laboratóriumi ipar számára, leírás, nagy áramlású gázszűrő – kifejezetten...
Részletek megtekintése -
Ipari minőségű beépített gázszűrő gáztisztító rendszerekhez
Leírás A technológiai gáz speciális szűrője, más néven Point-to-Use Inline szűrő, kifejezetten a félvezetőipar számára készült, hogy pontosan...
Részletek megtekintése -
Kiváló szűrés és megbízható nagynyomású áramlásszabályozás félvezető folyamatokhoz
Leírás A diffúzor szűrő egy élvonalbeli megoldás, amelyet kifejezetten a félvezetőgyártásban használt vákuumkamrák gyors szellőztetésére terveztek...
Részletek megtekintése -
Felületre szerelhető C tömítésű szűrőmegoldások hatékony gázszállító rendszerekhez az IGS-től
Leírás A HENGKO felületszerelt szűrőket úgy tervezték, hogy megfeleljenek a félvezető OEM szerszámokban használt integrált gázrendszerek igényes követelményeinek. Kínálnak...
Részletek megtekintése -
Nagy tisztaságú szűrőelemek gyártója, amely precíz áramlásszabályozást biztosít a gyárakhoz és a tisztítószerekhez...
Nagy tisztaságú szűrőelemek gyártója, amely precíz áramlásszabályozást biztosít fabokhoz és tisztatéri alkalmazásokhoz Leírás A HENGKO felületre szerelt szűrők...
Részletek megtekintése
Félvezető gázszűrők:
Kifogástalan gáztisztaság biztosítása a forgácsgyártásban
A félvezetőgyártás bonyolult világában, ahol a pontosság és a tisztaság a legfontosabb, a minőség...
A felhasznált gázok kritikus szerepet játszanak a folyamat sikerében. A szennyeződések, még elenyésző mértékben is,
károsíthatja a mikrochipek érzékeny áramköreit, hibássá és használhatatlanná téve azokat. A védelem érdekében
Ebben a kritikus folyamatban a félvezető gázszűrők rendíthetetlen őrként szolgálnak, aprólékosan eltávolítva a szennyeződéseket
és biztosítja a gyártósorokon átáramló gázok makulátlan minőségét.
A szinterezett fémszűrőknek számos kiváló tulajdonságuk és előnyük van
1. Korszerű tisztatéri környezetben készült
Ezek a szűrők egy korszerű tisztatérben készülnek, egy olyan környezetben, ahol makulátlan körülményeket gondosan fenntartanak a potenciális szennyeződés minimalizálása érdekében. Szigorú gyártási folyamaton esnek át, amely a tisztított levegő atmoszférája alatti precíziós hegesztéssel kezdődik. Egy ezt követő ioncserélt vizes öblítés, majd egy nagynyomású, szűrt nitrogénes átfúvás eltávolítja a benne maradt részecskéket, és csökkenti a részecskeszórás kockázatát.
2. Kivételes részecskeeltávolítási hatékonyság
A 0,003 μm-es részecskék esetében figyelemre méltó, 9 LRV szűrési hatékonysággal, a SEMI F38 és ISO 12500 vizsgálati módszerek szigorú szabványainak betartásával ezek a szűrők hatékonyan eltávolítják a korrózió és a mozgó alkatrészekből származó részecskéket, biztosítva a gázok makulátlan tisztaságát.
3. Kiváló mechanikai szilárdság
Szigorúan tesztelték őket, hogy garantálják a kivételes ellenálló képességet a nagy igénybevételű gyártási folyamatokban és a gyakran nagy gáznyomást alkalmazó környezetekben, ezek a szűrők teljes élettartamuk alatt rendíthetetlen teljesítményt nyújtanak.
4. A legmagasabb iparági szabványok túlszárnyalása
A félvezető-feldolgozás szigorú gázkezelési szűrési követelményeit felülmúlva ezek a szűrők szigorú tesztelésen esnek át, hogy garantálják a félvezető-gyártás gázszállító rendszerei által megkövetelt kritikus szűrési hatékonyságot, pontos áramlásszabályozást és biztonsági szabványokat.
5. Rendíthetetlen elkötelezettség a biztonság iránt
A gyúlékony, korrozív, mérgező és piroforos folyamatgázokkal szembeni védelem érdekében a szűrőházak aprólékos szivárgásvizsgálaton esnek át, biztosítva, hogy figyelemre méltó, 1x10-9 atm scc/másodperc alatti szivárgási sebességet érjenek el. Ez a biztonság iránti rendíthetetlen elkötelezettség biztosítja, hogy a veszélyes gázok a környezetükben maradjanak, és ne okozzanak kárt.
6. Kompromisszumok nélküli tisztaság a kiváló forgácsgyártásért
Kivételes szűrési képességeik, a biztonság iránti rendíthetetlen elkötelezettségük és a legmagasabb iparági szabványok betartása révén ezek a gázszűrők kulcsszerepet játszanak a félvezetőgyártás bonyolult folyamatának védelmében. A tisztaság őreiként szolgálnak, biztosítva, hogy csak a legtisztább gázok áramoljanak a gyártósorokon, utat nyitva a modern világunkat működtető nagy teljesítményű mikrochipek létrehozásának.
Félvezető szűrők típusai
A félvezető szűrőket számos alkalmazásban használják, beleértve:
* Elektronikai gyártás:
A félvezető szűrőket a félvezetők gyártásában használt ultratiszta vízből, gázokból és vegyszerekből származó részecskék eltávolítására használják.
* Kémiai mechanikai síkosítás (CMP):
A félvezető szűrőket a CMP szuszpenziókból származó részecskék eltávolítására használják, amelyeket félvezető ostyák polírozására használnak.
* Biomedicina:
A félvezető szűrőket az orvosi diagnosztikában és kezelésekben használt folyadékokból részecskék eltávolítására használják.
* Környezetvédelmi:
A félvezető szűrőket a levegőből és a vízből származó részecskék eltávolítására használják.
A félvezető szűrőknek négy fő típusa van:
1. Membránszűrők:
A membránszűrők vékony, porózus filmből készülnek, amely átengedi a folyadékokat, miközben felfogja a részecskéket.
2. Mélységszűrők:
A mélységi szűrők vastag, kanyargós anyagrétegből készülnek, amely felfogja a szűrőn átáramló részecskéket.
3. Adszorbens szűrők:
Az adszorbens szűrők olyan anyagból készülnek, amely vonzza és megtartja a részecskéket.
4. Szinterezett fémszűrők
Szinterezett fémszűrőkegyfajta mélységi szűrő, amelyet gyakran használnak a félvezetőgyártásban. Finom fémpor porózus szerkezetté szinterelésével készülnek. A szinterezett fémszűrők nagy tartósságukról, magas szűrési hatékonyságukról, valamint a magas hőmérsékleteknek és nyomásoknak való ellenállásukról ismertek.
A szinterezett fémszűrők előnyei a félvezetőgyártásban:
* Nagy tartósság:
* Magas szűrési hatékonyság:
* Hosszú élettartam:
* Kémiai kompatibilitás:
Szinterezett fémszűrők alkalmazásai a félvezetőgyártásban:
* Gáztisztítás:
A szinterezett fémszűrők a félvezetőgyártási folyamat elengedhetetlen részét képezik, és segítenek biztosítani a kiváló minőségű félvezető eszközök gyártását.
Az adott alkalmazásban használt félvezető szűrő típusa az eltávolítandó részecskék méretétől, a szűrendő folyadék típusától és a kívánt szűrési szinttől függ.
Íme egy táblázat, amely összefoglalja a különböző típusú félvezető szűrőket:
| Szűrő típusa | Leírás | Alkalmazások | Kép |
|---|---|---|---|
| Membránszűrők | Vékony, porózus filmből készül, amely átengedi a folyadékokat, miközben felfogja a részecskéket. | Elektronikai gyártás, CMP, orvosbiológia, környezetvédelem | |
| Mélységszűrők | Vastag, kanyargós anyagrétegből készült, amely felfogja a szűrőn átáramló részecskéket. | CMP, orvosbiológiai, környezetvédelmi | |
| Adszorbens szűrők | Olyan anyagból készült, amely vonzza és megtartja a részecskéket. | Elektronikai gyártás, CMP, orvosbiológia, környezetvédelem | |
| Szinterezett fémszűrők | Finom fémpor porózus szerkezetté szinterelésével készül. | Gáztisztítás, kémiai szűrés, ultratiszta víz szűrése, CMP iszap szűrés | Szinterezett fémszűrők félvezetőkhöz |
Alkalmazás
A szinterezett fém félvezető gázszűrőket széles körben használják a félvezetőiparban. Egyedi tulajdonságaik, mint például a magas szűrési hatékonyság, a tartósság, valamint a magas hőmérséklettel és nyomással szembeni ellenállás, a félvezetőgyártás gázszállító rendszereinek alapvető alkotóelemévé teszik őket.
Íme néhány a szinterezett fém félvezető gázszűrők konkrét alkalmazásai közül:
1. Ostyagyártás:
A szinterezett fémszűrőket a lapkagyártás során használt gázok, például a nitrogén, a hidrogén és az oxigén tisztítására használják. Ezek a gázok elengedhetetlenek olyan folyamatokhoz, mint az epitaxiális növekedés, a maratás és a dopping.
2. Kémiai szűrés:
A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt vegyszerek, például savak, bázisok és oldószerek szűrésére használják. Ezeket a vegyszereket különféle célokra használják, beleértve a tisztítást, maratást és polírozást.
3. Ultratiszta vízszűrés:
A szinterezett fémszűrőket a félvezetőgyártásban használt ultratiszta víz (UPW) szűrésére használják. Az UPW elengedhetetlen a waferek tisztításához és öblítéséhez, valamint a vegyszerek előállításához.
4. CMP zagyszűrés:
A szinterezett fémszűrőket a félvezető ostyák polírozására használt CMP-szuszpenziók szűrésére használják. A CMP kritikus folyamat a mikrochipek gyártásában.
5. Felhasználási ponton (POU) történő szűrés:
A szinterezett fémszűrőket gyakran használják POU-szűrőként, amelyeket közvetlenül a felhasználási helyen szerelnek be a legmagasabb szintű szűrés biztosítása érdekében. A POU-szűrők különösen fontosak azokban az alkalmazásokban, ahol a gáz tisztasága kritikus fontosságú, például mikroprocesszorok és más nagy teljesítményű eszközök gyártása során.
6. Nagy tisztaságú gázkezelés:
A szinterezett fémszűrőket nagy tisztaságú gázkezelő rendszerekben használják a félvezetőgyártásban használt gázokból származó szennyeződések eltávolítására. Ezek a szennyeződések tartalmazhatnak részecskéket, nedvességet és szerves vegyületeket.
7. Mikroelektronikai gyártás:
A szinterezett fémszűrőket mikroelektronikai eszközök, például számítógépek, táblagépek, mobiltelefonok, IoT-érzékelők és vezérlőeszközök gyártásában használják.
8. Mikroelektromechanikus rendszerek (MEMS) szűrése:
A szinterezett fémszűrőket a MEMS-szűrésben használják, amely a szennyeződések mikro-elektromechanikus rendszerekből történő eltávolításának folyamata. A MEMS-eket számos alkalmazásban használják, beleértve az érzékelőket, aktuátorokat és átalakítókat.
9. Adattároló eszköz szűrése:
A szinterezett fémszűrőket az adattároló eszközök szűrésére használják, ami a szennyeződések eltávolításának folyamata az adattároló eszközökről, például merevlemezekről és szilárdtestalapú meghajtókról.
Ezen specifikus alkalmazásokon kívül a szinterezett fém félvezető gázszűrőket számos más alkalmazásban is használják a félvezetőiparban. Sokoldalúságuk és megbízhatóságuk nélkülözhetetlen eszközzé teszi őket a félvezetőgyártók számára.
Kiváló minőségű szinterezett fém félvezető gázszűrőket keres?
A HENGKO az Ön megbízható partnere az OEM megoldások terén a félvezető gyártórendszerekben.
Precíziósan megtervezett szűrőink biztosítják a folyamatok megbízhatóságát és hatékonyságát, így versenyelőnyt biztosítva Önnek a piacon.
Miért válassza a HENGKO szűrőit?
* Kiváló minőség és tartósság
* Egyedi megoldások az Ön igényeihez igazítva
* Fokozott teljesítmény félvezetőgyártáshoz
Ne hagyd, hogy a szűrési kihívások visszafogják a termelést.
Vegye fel velünk a kapcsolatot még ma, és fedezze fel, hogyan forradalmasíthatják szinterezett fémszűrőink a gyártási rendszerét.
Kapcsolatfelvétel a következő címen:ka@hengko.com
Lépjen partnerségre a HENGKO-val, és tegyen egy lépést a félvezetőgyártás kiválósága felé!


















