Nagy tisztaságú szűrés az ultratiszta félvezető-gyártáshoz
Leírás
Nagy áramlású gázszűrő – Kifejezetten a félvezetőgyártásban használt ultra nagy tisztaságú technológiai gázszűréshez tervezték. Precíziósan gyártott, 316L rozsdamentes acélból, többoszlopos vagy rétegzett tárcsás kialakítással rendelkezik, amely alacsony ellenállást biztosít nagy áramlási sebességnél, a szűrési pontosság pedig eléri a 0,003 μm-t, így megfelel az ultra nagy tisztaságú követelményeknek. A teljes egészében fémből készült konstrukció ideális szűrési megoldássá teszi magas hőmérsékletű, dinamikus környezetekhez.
Termékjellemző
▶Teljesen 316L rozsdamentes acél szerkezet— Biztosítja a tartósságot és a korrózióállóságot.
▶Nagy áramlási sebesség, alacsony ellenállás— Nagy áramlásra optimalizálva minimális nyomásveszteség mellett.
▶Rendkívül magas részecske-visszatartási hatékonyság— Kiválóan alkalmas az ultratiszta körülmények fenntartására.
▶Ellenáll a magas hőmérsékletnek, nyomásnak és korróziónak— Alkalmas zord környezeti körülményekhez.
▶Különböző technológiai gázokkal kompatibilis— Sokoldalúan felhasználható számos ipari alkalmazáshoz.
▶Ideális tisztatéri gyártáshoz, teszteléshez és csomagoláshoz— Tökéletesen alkalmas szabályozott környezetben való használatra.
▶100%-os integritástesztelés— Minden szűrő átfogó integritási teszten esik át a minőségbiztosítás érdekében.
▶100%-os hélium szivárgásvizsgálat— Héliumszivárgás-teszttel igazolva a kritikus alkalmazásokban való megbízhatóság biztosítása érdekében.
Adatlap
Műszaki paraméterek
| Paraméter | Specifikáció |
|---|---|
| Szűrőelem anyaga | 316L rozsdamentes acél por szinterezett |
| Ház anyaga | 316L rozsdamentes acél |
| Max. bemeneti nyomás | 207 bar |
| Max. üzemi nyomáskülönbség | 5,2 bar |
| Hélium-validációs szivárgási arány | 2 x 10⁻¹⁰ cm3/perc |
| Hélium szivárgási sebesség tesztelése | 1 x 10⁻¹⁰ cm3/perc |
| Felületkezelés | |
| Külső felület | Ra < 1,6 μm |
| Belső felület | Ra < 0,2 μm |
| Maximális üzemi hőmérséklet | |
| Inert gáz | 400-500 ℃ |
| Korrozív és reaktív gáz | 50 ℃ |
| Részecske-visszatartási hatékonyság | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Lefelé irányuló tisztaság | ≤0,03 részecske/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Részecske-visszatartási méret | ≥0,003 μm |
Méret
Itt található a megrendelhető cikkszám és a méretek részletei:
| Termékmodell | Szűrőelem anyaga | Szűrési pontosság (μm) | Kapcsolat típusa |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L rozsdamentes acél | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L rozsdamentes acél | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L rozsdamentes acél | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L rozsdamentes acél | 10~0,003 | 1” |
| Testreszabható | 316L rozsdamentes acél | 10~0,003 | Szükség szerint |
Tipikus alkalmazások
néhány tipikus alkalmazásNagy tisztaságú ömlesztett és közüzemi szűrőkésGázáramlási szűrők a gázpadon:
1. Félvezető gyártás
*Biztosítja az ultratiszta gázellátást a lapkagyártáshoz, a maratáshoz és a kémiai gőzfázisú leválasztáshoz (CVD).
*Magas tisztaságot biztosít nitrogén, argon és más vivőgázok ömlesztett gázelosztó rendszereiben.
2. Gyógyszergyártás
*Steril és részecskementes gázt biztosít kritikus gyártási környezetekhez.
*Támogatja a nagy tisztaságú szűrést tisztaterekben és szabályozott környezetekben a termék integritásának megőrzése érdekében.
3. Laboratóriumi gázrendszerek
*Laboratóriumi környezetben használják gázáramok tisztítására analitikai berendezésekben, például gázkromatográfiában és tömegspektrometriában.
*Nagy tisztaságú gázokat biztosít kutatási és tesztelési alkalmazásokhoz, védve az érzékeny eszközöket.
4. Élelmiszer- és italfeldolgozás
*Szűri a CO₂-t és a karbonizáláshoz, csomagoláshoz és tároláshoz használt egyéb gázokat, fenntartva az élelmiszerbiztonságot és -minőséget.
*Biztosítja a szennyeződésmentes gázellátást a feldolgozóüzemekben, különösen a nagykereskedelmi gázszolgáltatók számára.
5. Olaj- és gázipar
* Tisztítja a földgázáramokat a gázszűrő padokban, eltávolítva a szennyeződéseket a tárolás vagy szállítás előtt.
*Védi a downstream berendezéseket a részecskék, a nedvesség és a szennyeződések eltávolításával a nagynyomású gázáramlási rendszerekben.
6. Vegyipari gyártás
*Szűri a kémiai szintézisekben és reakciókban használt közüzemi gázokat, például a nitrogént és az argont.
* Fenntartja a gáz tisztaságát a szennyeződés és a reakciók következetlenségeinek megelőzése érdekében.
7. Repülés és védelem
*Nagy tisztaságú gázokat szállít repülőgépipari anyagok és alkatrészek gyártási és tesztelési környezeteiben.
*Biztosítja az állandó gáztisztaságot szabályozott környezetben repülőgépek és védelmi berendezések összeszerelésekor.
8. Energiatermelés (erőművek)
*Nagynyomású gázok szűrésére szolgál hűtési és technológiai alkalmazásokhoz, különösen magas hőmérsékletű környezetben.
*Növeli a hatékonyságot és csökkenti a berendezések kopását azáltal, hogy megakadályozza a gázhűtő és áramlási rendszerek szennyeződését.
Ezek az fA szűrők elengedhetetlenek minden olyan alkalmazásban, amely tiszta, egyenletes gázáramlást igényel, fokozva a berendezés védelmét,
folyamathatékonyság és a végtermék minősége az iparágakban.
Küldd el nekünk az üzeneted:
