félvezető gázszűrők

Miért kell gázszűrőket használni a félvezető gyártási folyamatban? 

A gázszűrők számos kritikus okból nélkülözhetetlenek a félvezető gyártási folyamatban:

1. Szennyezőanyag eltávolítás

A félvezető gyártás számos érzékeny folyamatot foglal magában, amelyek során a legapróbb szennyeződések is

például porszemcsék, nedvesség vagy vegyszermaradványok káros hatással lehetnek. A gázszűrőket eltávolítjuk

részecskéket, szennyeződéseket és a levegőben szálló szennyeződéseket a folyamat gázaiból, biztosítva a tiszta környezetet

és a félvezető lapkák integritásának fenntartása.

2. Az ultra-tisztasági szabványok betartása

A félvezetőipar rendkívül magas tisztasági szintet követel meg a felhasznált gázoktól, ahogyan azt a szennyeződések is megtehetik

félvezető eszközök hibáihoz vezethet. A gázszűrők segítenek elérni az ultratiszta gázminőséget, megelőzve

szennyeződés, valamint a termékek konzisztenciájának és megbízhatóságának biztosítása.

3. Védőfelszerelés

A gázokban lévő szennyeződések nemcsak a félvezető lapkákat károsíthatják, hanem az érzékenyeket is

a gyártási folyamatban használt berendezések, mint például a kémiai gőzleválasztásos (CVD) reaktorok és

rézkarcrendszerek. A gázszűrők megvédik ezeket a drága gépeket a károsodástól, csökkentve a sérülések kockázatát

leállások és költséges javítások.

4. A termésveszteség megelőzése

A hozam kulcsfontosságú a félvezetőgyártásban, ahol a hibák jelentős termelési veszteséget okozhatnak.

Már egyetlen részecske vagy vegyi szennyeződés is termésveszteséget okozhat, ami befolyásolja a termelékenységet és a jövedelmezőséget.

A gázszűrők biztosítják, hogy a technológiai gázok tisztaak legyenek, minimálisra csökkentve a szennyeződést és csökkentve a hozamveszteséget.

5. Termékminőség biztosítása

A félvezetőgyártásban a következetesség és a minőség a legfontosabb. Szennyezett gázok keletkezhetnek

következetlenségek, ami megbízhatatlan félvezető eszközökhöz vezet. Gázszűrők használatával a gyártók megtehetik

garantálja, hogy minden egyes tétel megfelel a szigorú minőségi előírásoknak, ami magasabb eszközhöz vezet

teljesítmény és hosszú élettartam.

6. Az állásidő csökkentése

A technológiai gázokban lévő szennyeződések a berendezés meghibásodását okozhatják, ami karbantartást vagy cserét tesz szükségessé.

A gázszűrők használatával a gyártók csökkenthetik a váratlan állásidőt, fenntarthatják a működési hatékonyságot és

meghosszabbítja a kritikus berendezések élettartamát.

7. Kémiai kompatibilitás

A félvezető eljárásokban használt gázok közül sok nagyon reaktív vagy korrozív. A gázszűrők azok

úgy tervezték, hogy ellenálljon ezeknek a kemény vegyi környezeteknek, miközben hatékonyan szűri a szennyeződéseket, biztosítva

biztonságos és hatékony feldolgozás.

Összességében a gázszűrők létfontosságúak a félvezető tisztaságának, megbízhatóságának és biztonságának megőrzéséhez.

gyártási folyamat, segítve a kiváló minőségű, hibamentes félvezető termékek előállítását, miközben

értékes felszerelések védelme is.

A gázszűrők típusai a félvezetőgyártási folyamatban

A félvezető gyártási folyamatban különböző típusú gázszűrőket használnak a különféle megoldásokra

a gáztisztasággal és a berendezések védelmével kapcsolatos szakaszok és kihívások.

A leggyakrabban használt gázszűrő típusok a következők:

1. Részecskeszűrők

*Cél: Részecskék, por és egyéb szilárd szennyeződések eltávolítására a folyamat gázaiból.

*Használat: Gyakran különböző szakaszokban telepítik, hogy megvédjék az ostyákat, a folyamatkamrákat és a berendezéseket a részecskék szennyeződésétől.

* Anyagok: Általában szinterezett rozsdamentes acélból, PTFE-ből vagy más olyan anyagból készül, amely biztosítja a tartósságot és a kémiai kompatibilitást.

2. Molekuláris vagy kémiai szűrők (Getter szűrők)

*Cél: Speciális molekuláris szennyeződések, például nedvesség, oxigén vagy szerves vegyületek eltávolítása, amelyek jelen lehetnek a technológiai gázokban.

*Használat: Amikor nagy tisztaságú gázra van szükség, például leválasztási vagy maratási folyamatok során.

* Anyagok: Gyakran aktív szénből, zeolitból vagy más adszorbens anyagokból készül, amelyeket kifejezetten a molekuláris szennyeződések felfogására terveztek.

3. Nagy tisztaságú gázszűrők

*Cél: Ultra-high purity (UHP) gázszabvány elérése, ami kritikus a félvezető eljárásoknál, ahol a legkisebb szennyeződés is befolyásolhatja a termék minőségét.

*Használat: Ezeket a szűrőket olyan eljárásokban használják, mint például a kémiai gőzleválasztás (CVD) és a plazmamaratás, ahol a szennyeződések súlyos hibákat okozhatnak.

* Anyagok: Rozsdamentes acélból készült speciális membránokkal, hogy megőrizze az integritást nagy nyomás és szélsőséges körülmények között is.

4. Tömeges gázszűrők

*Cél: Gázok tisztítására a belépési ponton vagy a gyártósorokhoz való elosztás előtt.

*Használat: A gázellátó rendszerben az áramlás irányában helyezkedik el, hogy ömlesztett gázokat szűrjön, mielőtt azokat az egyes szerszámokba vagy reaktorokba szállítanák.

* Anyagok: Ezek a szűrők gyakran nagy kapacitásúak nagy mennyiségű gáz kezelésére.

5. Használati célú (POU) gázszűrők

*Cél: Annak biztosítása, hogy az egyes feldolgozószerszámokhoz szállított gázok mentesek legyenek minden szennyeződéstől.

*Használat: Közvetlenül azelőtt kell beszerelni, hogy a gázokat a technológiai berendezésbe, például marató- vagy leválasztókamrákba vezetnék.

* Anyagok: A félvezető eljárásokban használt reaktív gázokkal kompatibilis anyagokból, például szinterezett fémből vagy PTFE-ből készült.

6. Beépített gázszűrők

*Cél: Az elosztórendszeren áthaladó gázok soros szűrésének biztosítása.

*Használat: A gázvezetékekbe a kulcsfontosságú pontokon telepítve, folyamatos szűrést biztosítva az egész rendszerben.

* Anyagok: Szinterezett rozsdamentes acél vagy nikkel a gázokkal való kémiai kompatibilitás biztosítása érdekében.

7. Felületre szerelhető gázszűrők

*Cél: Közvetlenül a gázpanel alkatrészekre szerelhető a részecskék és molekuláris szennyeződések eltávolítására.

*Használat: Szűk helyeken általánosan elterjedt szűrők hatékony felhasználási hely szerinti szűrést biztosítanak a kritikus alkalmazásokban.

* Anyagok: Nagy tisztaságú rozsdamentes acél a tartósság és a félvezetőgyártási gázokkal való kompatibilitás érdekében.

8. Szub-mikron szűrők

*Cél: Rendkívül kicsi, gyakran szubmikron méretű részecskék kiszűrésére, amelyek még mindig jelentős hibákat okozhatnak a félvezető folyamatokban.

*Használat: Olyan eljárásokban használják, amelyek a legmagasabb szintű szűrést igénylik az ultratiszta gázellátás fenntartásához, mint például a fotolitográfia.

* Anyagok: Nagy sűrűségű szinterezett fém vagy kerámia anyagok, amelyek még a legkisebb részecskéket is hatékonyan képesek megfogni.

9. Aktív szén szűrők

*Cél: Szerves szennyeződések és illékony gázok eltávolítására.

*Használat: Olyan alkalmazásokban használják, ahol a gáznemű szennyeződéseket el kell távolítani az ostya szennyeződésének vagy a reakciózavarok elkerülése érdekében.

* Anyagok: Szerves molekulák adszorbeálására tervezett aktív szén anyagok.

10.Szinterezett fém gázszűrők

*Cél: A részecskék és szennyeződések hatékony eltávolítása, miközben szerkezeti szilárdságot és nagy nyomásállóságot biztosít.

*Használat: Széles körben használják a félvezető folyamat több szakaszában, ahol robusztus szűrésre van szükség.

* Anyagok: Általában szinterezett rozsdamentes acélból vagy más fémötvözetből készül, hogy ellenálljon a zord környezetnek és vegyszereknek.

11.Hidrofób gázszűrők

*Cél: Nedvesség vagy vízgőz bejutásának megakadályozása a gázáramba, ami kritikus bizonyos folyamatokban, amelyek érzékenyek akár nyomnyi nedvességre is.

*Használat: Gyakran használják olyan eljárásokban, mint az ostyaszárítás vagy a plazmamarás.

* Anyagok: Hidrofób membránok, például PTFE, amelyek biztosítják, hogy a gázok nedvességtől mentesek maradjanak.

Ezeket a különféle típusú gázszűrőket gondosan választják ki sajátos tulajdonságaik, anyagkompatibilitásuk és a félvezetőgyártási folyamatok egyedi körülményeihez való alkalmasságuk alapján. A szűrők megfelelő kombinációja elengedhetetlen a gáz legmagasabb szintű tisztaságának megőrzéséhez, a folyamat stabilitásának biztosításához és a félvezető eszközök hibáinak megelőzéséhez.

Néhány GYIK a félvezető gázszűrőkkel kapcsolatban

1. GYIK:

Mik azok a félvezető gázszűrők és miért fontosak?

A félvezető gázszűrők kritikus összetevői a félvezető gyártási folyamatnak.

Úgy tervezték, hogy eltávolítsák a szennyeződéseket és szennyeződéseket a folyamat gázaiból, mint ploxigén,

nitrogén, hidrogén és különféle kémiai gázok.

Ezek a szennyeződések jelentősen befolyásolhatják a félvezető eszközök minőségét, hozamát és megbízhatóságát.

A gázáramok hatékony szűrésével a félvezető gázszűrők segítenek:

1. Tartsa fenn a magas tisztaságot:

Győződjön meg arról, hogy a gyártási folyamat során használt gázok nem tartalmaznak olyan szennyeződéseket, amelyek ronthatják a készülék teljesítményét.

2. A berendezés károsodásának megelőzése:

Védje az érzékeny félvezető berendezéseket a részecskék és vegyi szennyeződésektől, amelyek költséges leállásokhoz és javításokhoz vezethetnek.

3. A termékhozam javítása:

Csökkentse a gáz által okozott szennyeződések által okozott hibákat és meghibásodásokat, ami magasabb termelési hozamot eredményez.

4. Növelje az eszköz megbízhatóságát:

Minimalizálja a félvezető eszközök hosszú távú leépülését a szennyeződéssel kapcsolatos problémák miatt.

2. GYIK:

Melyek a félvezető gázszűrők általános típusai?

A félvezetőgyártásban többféle gázszűrőt használnak, amelyek mindegyike eltávolításra szolgál

bizonyos típusú szennyeződések.

A leggyakoribb típusok a következők:

1. Részecskeszűrők:

Ezek a szűrők eltávolítják a szilárd részecskéket, például a port, a szálakat és a fémrészecskéket a gázáramokból.

Általában olyan anyagokból készülnek, mint a szinterezett fém, kerámia vagy membránszűrők.

2. Vegyi szűrők:

Ezek a szűrők eltávolítják a kémiai szennyeződéseket, például vízgőzt, szénhidrogéneket és korrozív gázokat.

Gyakran adszorpciós vagy abszorpciós elveken alapulnak, olyan anyagokat használva, mint az aktív szén,

molekulaszita vagy kémiai szorbensek.

3. Kombinált szűrők:

Ezek a szűrők egyesítik a részecske- és vegyi szűrők képességeit, hogy eltávolítsák mindkét típust

szennyeződések. Gyakran használják kritikus alkalmazásokban, ahol elengedhetetlen a nagy tisztaság.

3. GYIK:

Hogyan választják ki és tervezik a félvezető gázszűrőket?

A félvezető gázszűrők kiválasztása és tervezése több tényezőt is magában foglal, többek között:

* Gáztisztasági követelmények:

Az adott gázáram kívánt tisztasági szintje határozza meg a szűrő szűrési hatékonyságát és kapacitását.

* Áramlási sebesség és nyomás:

A szűrendő gáz térfogata és az üzemi nyomás befolyásolja a szűrő méretét, anyagát és konfigurációját.

* Szennyezőanyag típusa és koncentrációja:

A gázáramban jelenlévő szennyeződések speciális típusai határozzák meg a szűrőközeg kiválasztását és a pórusméretét.

* Hőmérséklet és páratartalom:

A működési feltételek befolyásolhatják a szűrő teljesítményét és élettartamát.

* Költség és karbantartás:

Figyelembe kell venni a szűrő kezdeti költségét és a folyamatos karbantartási igényeket.

Ezen tényezők gondos mérlegelésével a mérnökök kiválaszthatják és megtervezhetik az adott követelményeknek megfelelő gázszűrőket

félvezető gyártási folyamat igényei.

Milyen gyakran kell gázszűrőket cserélni a félvezetőgyártásban?

A félvezetőgyártásban használt gázszűrők cseréjének gyakorisága számos tényezőtől függ, beleértve a típust is

folyamat, a szennyeződések szintje és a használt szűrő konkrét típusa. A gázszűrőket általában rendszeresen cserélik

karbantartási ütemterv a szennyeződés kockázatának elkerülése érdekében,gyakran 6-12 havonta, a használati feltételektől függően

és a szűrő gyártójának ajánlásait.

A csere ütemezése azonban a működési környezettől függően igen eltérő lehet. Például:

* Magas szennyeződésű folyamatok:

A szűrőket gyakrabban kell cserélni, ha nagy mennyiségű szennyeződésnek vannak kitéve

szemcsés vagy molekuláris szennyeződés.

* Kritikus alkalmazások:

A rendkívül nagy tisztaságot igénylő eljárásokban (pl. fotolitográfia) gyakran cserélik a szűrőket

megelőző jelleggel, hogy a gáz minősége ne sérüljön.

A szűrőn átívelő nyomáskülönbség figyelése általános módszer annak meghatározására, hogy mikor kell szűrőt cserélni.

A szennyeződések felhalmozódásával a szűrőn keresztüli nyomásesés nő, ami a hatékonyság csökkenését jelzi.

Rendkívül fontos a szűrők cseréje, mielőtt azok hatékonysága csökkenne, mivel a gáz tisztaságának bármilyen megsértése jelentős hibákat okozhat,

csökkenti a hozamot, és akár a berendezés károsodásához is vezethet.

Milyen anyagokból készülnek a félvezető alkalmazásokhoz használt gázszűrők?

A félvezető alkalmazásokban használt gázszűrők olyan anyagokból készülnek, amelyek a legmagasabb tisztasági szabványokat képesek fenntartani

és ellenáll a gyártás során előforduló zord környezetnek. A gyakori anyagok a következők:

* Rozsdamentes acél (316L): A legszélesebb körben használt anyag vegyszerállósága, mechanikai szilárdsága, ill

precíz pórusmérettel szinterezési technológiával gyártható. Mindkét reaktív szűrésére alkalmas

és inert gázok.

*PTFE (politetrafluor-etilén): A PTFE egy kémiailag inert anyag, amelyet erősen reaktív vagy korrozív anyagok szűrésére használnak

gázok. Kiváló kémiai kompatibilitással és hidrofób tulajdonságokkal rendelkezik, így ideális a nedvességre érzékenyek számára

folyamatokat.

*Nikkel és Hastelloy:

Ezeket az anyagokat magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz vagy agresszív vegyi anyagokat tartalmazó eljárásokhoz használják

ahol a rozsdamentes acél lebomolhat.

*Kerámiai:

A kerámia szűrőket olyan alkalmazásokban használják, ahol szélsőséges hőmérséklet-állóságra van szükség, vagy szubmikronos szűrőkhöz

részecskék szűrése.

Az anyagválasztás függ a gáz típusától, a reaktív anyagok jelenlététől, a hőmérséklettől, ill

egyéb folyamatparaméterek. Az anyagoknak nem reaktívaknak kell lenniük annak biztosítására, hogy ne vigyenek be semmilyen szennyeződést

vagy részecskéket a folyamatba, ezáltal fenntartva a félvezetőgyártáshoz szükséges gáztisztasági szintet.

Mi a POU (Point-of-Use) szűrő szerepe a félvezető gyártásban?

A POU (Point-of-Use) szűrők elengedhetetlenek a félvezetőgyártásban, mivel biztosítják a gázok tisztítását közvetlenül azelőtt.

belépés a folyamateszközökbe. Ezek a szűrők végső védelmet nyújtanak a gázáramba kerülő szennyeződések ellen

tárolás, szállítás vagy elosztás során, ezáltal javítva a folyamat stabilitását és a termék minőségét.

A POU-szűrők fő előnyei:

* A kritikus berendezések (pl. marató- vagy leválasztókamrák) közelében kell elhelyezni, hogy megakadályozza a szennyeződések eljutását az ostyához.

* Távolítsa el mind a részecskéket, mind a molekuláris szennyeződéseket, amelyeket a gázkezelő rendszer vagy a környezeti expozíció juttathat be.

*Gondoskodjon arról, hogy a lehető legmagasabb minőségű gáz kerüljön a feldolgozószerszámba, védve a berendezéseket és javítva a gyártott eszközök minőségét.

*Csökkentse a folyamat változékonyságát, növelje a hozamot és csökkentse a hibák szintjét.

* Nélkülözhetetlen fejlett félvezető környezetben, ahol még a kisebb szennyeződések is jelentősen befolyásolhatják a termelékenységet és a termék megbízhatóságát.

Hogyan akadályozzák meg a gázszűrők a berendezések leállását a félvezető folyamatokban?

A gázszűrők megakadályozzák a berendezések leállását a félvezető folyamatokban azáltal, hogy biztosítják, hogy a folyamat gázai folyamatosan mentesek legyenek

szennyeződéseket, amelyek károsíthatják a gyártóberendezést. A félvezető gyártás magában foglalja a magas

érzékeny berendezések, ideértve a leválasztó kamrákat, plazma maratógépeket és fotolitográfiai rendszereket.

Ha szennyeződések, például por, nedvesség vagy reaktív szennyeződések kerülnek ezekbe a gépekbe, ezek számos problémát okozhatnak,

a szelepek és fúvókák eltömődésétől az ostyafelületek vagy a reaktor belsejének károsodásáig.

A jó minőségű gázszűrők használatával a gyártók megakadályozzák ezeknek a szennyeződéseknek a bejutását, csökkentve annak valószínűségét

nem tervezett karbantartás és berendezés meghibásodások. Ez segít a stabil gyártási ütemterv fenntartásában, minimalizálásában

költséges állásidő, valamint a javításokkal vagy cserékkel kapcsolatos jelentős kiadások elkerülése.

Ezenkívül a jól karbantartott szűrők segítenek meghosszabbítani a kulcsfontosságú alkatrészek, például az áramlásszabályozók, szelepek és reaktorok élettartamát,

ezzel növelve a gyártási folyamat általános hatékonyságát és jövedelmezőségét.

Tehát miután ellenőrizze néhány részletet a félvezető gázszűrőkkel kapcsolatban, ha még mindig van néhány kérdése.

Készen áll a félvezetőgyártási folyamat optimalizálására kiváló minőségű gázszűrő megoldásokkal?

Lépjen kapcsolatba a HENGKO-val még ma, hogy szakértő útmutatást és testreszabott megoldásokat kapjon az Ön igényeinek megfelelően.

Miután ellenőrizte néhány részletet a félvezető gázszűrőről, ha további kérdései vannak?

Készen áll a félvezetőgyártási folyamat optimalizálására kiváló minőségű gázszűrő megoldásokkal?

Lépjen kapcsolatba a HENGKO-val még ma, hogy szakértő útmutatást és testreszabott megoldásokat kapjon az Ön igényeinek megfelelően.

Írjon nekünk e-mailt a címreka@hengko.comtovábbi információkért.

Csapatunk azért van itt, hogy segítsen javítani a termelési hatékonyságot és a termékminőséget.