Hőmérséklet és páratartalom érzékelő félvezető tiszta helyiség hőmérséklet páratartalom szabályozási rendszerhez
termékbemutató
A hőmérsékletésA tiszta tér páratartalmát elsősorban a folyamatkövetelmények határozzák meg, de a folyamatkövetelmények teljesítésének feltétele mellett a komfortérzetet is figyelembe kell venni.A levegőtisztasági követelmények javulásával egyre szigorúbb hőmérsékleti és páratartalom-követelmények alakultak ki.
Mivel a feldolgozási pontosság egyre finomabb, így a hőmérséklet-ingadozási tartomány is egyre kisebb.Például a nagyméretű integrált áramkör-gyártás litográfiai expozíciós folyamatában az üveg és a szilícium lapka, mint maszkanyag közötti hőtágulási együttható különbségének egyre kisebbnek kell lennie.100 um átmérőjű szilícium ostya, 1 fokos hőmérsékletemelkedés, 0,24 um lineáris tágulást okoz, tehát ±0,1 fokos hőmérsékletnek kell lennie, ugyanakkor a páratartalom általában alacsony, mivel az emberek izzadnak, a termék szennyezett lesz, különösen fél a nátrium-félvezető műhelytől, ez a műhely nem haladhatja meg a 25 fokot.
A magas páratartalom több problémát okoz.Ha a relatív páratartalom meghaladja az 55%-ot, a hűtővízcső falán harmat képződik, amely precíziós készülékekben vagy áramkörökben különböző baleseteket okozhat.Ha a relatív páratartalom 50%, könnyen rozsdásodik.Ezenkívül, ha a páratartalom túl magas, a szilícium chip felületére tapadt por kémiailag adszorbeálódik a felületen, hogy ellenálljon az eltávolításnak.Minél nagyobb a relatív páratartalom, a tapadást nehéz eltávolítani, de ha a relatív páratartalom 30%-nál alacsonyabb, a részecskék könnyen adszorbeálódnak a felületen az elektrosztatikus erő hatására, és nagyszámú félvezető eszköz hajlamos a meghibásodásra.Az ostyagyártás optimális hőmérsékleti tartománya 35-45%.
Ezért a hőmérséklet és a páratartalom szabályozása különösen fontos, a HENGKO számos lehetőséget kínál Önnekhőmérséklet- és páratartalom-távadó testreszabott feldolgozási megoldások!
Hőmérséklet és páratartalom érzékelő félvezető tiszta helyiség hőmérséklet páratartalom szabályozási rendszerhez
Nem talál olyan terméket, amely megfelel az Ön igényeinek?Forduljon értékesítési munkatársainkhozOEM/ODM testreszabási szolgáltatások! 
