Fejlett IGS felületszerelt C-tömítésű szűrők ultratiszta félvezető gázrendszerekhez
Leírás
A HENGKO felületszerelt szűrőket úgy tervezték, hogy megfeleljenek a félvezető OEM szerszámokban használt integrált gázrendszerek szigorú követelményeinek. Az iparágvezető 0,003 µm-es szűrést kínálva ezek a szűrők kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak, ≥99,9999999% (9-LRV) részecske-elfogási hatékonysággal 120 slpm sebességnél.
A szűrőelemhez és a házhoz strapabíró 316L rozsdamentes acél por szinterezett anyagból készült szűrők megfelelnek a SEMI F86-0304 specifikációnak, és kétportos alkatrészeket tartalmaznak, amelyeket 1,125 hüvelykes, C-tömítésű gázelosztó rendszerekhez szabtak. Maximális bemeneti nyomásuk 3,4 MPa 100 °C-on, maximális üzemi nyomáskülönbségük pedig 0,69 MPa 100 °C-on.
Ezek a speciális szűrők, amelyek kompatibilisek mind a C-, mind a W-típusú tömítési specifikációkkal, a részecskekibocsátással biztosítják a folyásirányban elért tisztaságot.
Ra felületkezeléssel< 1,6 µm a külső oldalon és Ra< 0,13 µm belső réteggel rendelkeznek, és akár 460°C-os magas hőmérsékletnek is ellenállnak. Az egyszerű integrációra és a moduláris kialakítású frissítésekre tervezett szűrők leegyszerűsítik a telepítést és a karbantartást, segítve a rendszer teljesítményének optimalizálását a félvezető gázszállítási és -szabályozási alkalmazásokban.
Termékjellemző
▶ Teljesen 316L rozsdamentes acél szerkezet
▶ Miniatürizált kialakítás, kompakt szerkezet, helytakarékos
▶ Kiváló gázpótlási és deszorpciós tulajdonságok
▶ Magas hőmérsékletnek, nagy nyomásnak és korróziónak ellenálló
▶ Elektromosan polírozott 316L rozsdamentes acél ház
▶ Egyszerű és hatékony telepítés és karbantartás
▶ Mechanikus tömítés, szerkezetileg nem hegesztett a közeghez
Adatlap
| Műszaki paraméterek | Értékek |
|---|---|
| Szűrőelem anyaga | 316L rozsdamentes acél szinterezett por |
| Ház anyaga | 316L rozsdamentes acél |
| Maximális bemeneti nyomás | 3,4 MPa 100°C-on |
| Maximális üzemi különbség | 0,69 MPa 100°C-on |
| Hélium-ellenőrzési szivárgási arány | 1x10⁻¹¹ cm³/perc |
| Héliumteszt szivárgási aránya | 1x10⁻⁹ cm³/perc |
| Felületkezelés | Külső felület Ra< 1,6 μm |
| Belső felület Ra< 0,13 μm | |
| Maximális üzemi hőmérséklet | 460°C |
| Részecske-elfogási hatékonyság | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referencia MPPS, minden részecske) |
| Lefelé irányuló tisztaság | Részecske-kibocsátás:< 0,03 részecske/liter (< 1 részecske/ft³) |
| Illékony anyagok:< 10 ppb nedvességtartalom | |
| Részecske-elfogás mérete | ≥0,003 μm |
| Áramlási tartomány | 0 ~ 120 l/perc |
Méret
Itt található a megrendelhető cikkszám és a méretek részletei:
| Termékmodell | Áramlási sebesség | Magasság (mm) | Szűrési pontosság | Tisztítási szint |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 ütés/perc | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 ütés/perc | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 ütés/perc | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 ütés/perc | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tipikus alkalmazások
W-seal és C-seal, 1,125” és 1,5” felületszerelt moduláris gázszállító rendszerekkel való használatra.
Küldd el nekünk az üzeneted:
